性能卓越的QRPT传感器
福禄克DHI公司的数字式压力控制器/校准器系列产品提供读数精度,性能堪比活塞压力计。其出众的指标是源于独特的Q-RPT(石英谐振式参考压力传感器)。每个传感器都经过严格的评估并参照基准级的压力标准标定其特性,只有满足必需的线性度,重复性和稳定性指标的传感器才能被使用。福禄克DHI压力计量部通过二十多年来对成千上万只传感器测试的经验和数据的积累,得到了一个拥有专利的补偿模型从而对每个传感器赋予了优化的计量特性。出于用户不同需求和应用的考虑,我们提供不同性能和价格的Q-RPT 压力传感器,适应不同用户的不同应用。
PG7601为基准级真空参考气体活塞式压力计,用于介质为气体的4kPa~ 7MPa表压和7kPa~7MPa绝压,以及-90kPa~350kPa差压的校准工作。通过将砝码的钟形罩抽为真空,PG7601能够以真空为参考进行测量。如果不需要接近和低于大气压,以及/或者需要高于7MPa( 1000 psi)的绝压或表压,则宜考虑使用不具备真空参考能力的PG7102。
PG7601气体活塞式压力计具有所有的PG7000 标准特性,并可以建立和测量真空参考,相对于被抽真空的钟形罩定义绝压。支持“差压模式”,覆盖接近于零和不同静压下的正和负差压。
PG7601气体活塞式压力计始终刷新显示环境压力、温度、湿度和活塞组温度、活塞位置、活塞下降速率、活塞转速下降速率等参数。提供转速“就绪/ 未就绪”指示功能, 实时刷新“质量-压力”计算。电机驱动的活塞旋转可以选择电机自动驱动,也可以选使用手动驱动。
基准级微压活塞压力计,提供微压溯源性
FPG8601是基准级微压活塞压力计,解决了活塞式压力计在微小压力范围内以极小的不确定度提供长期溯源性的需求。
FPG 8601采用了活塞式压力计原理:加到活塞缸有效面积上的压力被转换为成比例的力。然而,压力产生的力并不是与重力加速度引起的重量相平衡的,而是由活塞所在的力平衡压力传感器测得的。活塞缸套顶部和底部安装了压力室,可改变被用来定义压力的参考压力(对于表压来说是大气压,对于绝压来说是真空)。在常压下利用高压室和低压室调零压力传感器,剔除活塞的重量以及其它非所测压力的压力因素,使测量压力从零开始。根据活塞缸的有效面积和压力传感器测得的净压力值即可计算出差压值。
力平衡式活塞压力计原理框图
为了避免通过在汽缸中旋转活塞来确定其中心的不稳定性和机械方面的复杂性,FPG8601活塞是通过缸体-活塞缝隙中独立流通的润滑气压来确定中心的。缝隙呈圆锥形,收缩面对称朝向活塞末端。缸体-活塞缝隙为1~6 mm,润滑压力比参考压力大40 kPa,保证流入到测量室的气流非常小(低于总量的1 sccm)。活塞两端的压力通过一个万向节连接系统传递到压力传感器,该系统将活塞保持在其重心。连接系统的通路也用来提供缸体-活塞润滑气。压力传感器被封闭在一个密封室内,润滑气通过该密封室流通。压力传感器密封室的设计有利于保持恒温,并且润滑气的相对湿度被保持在40~70 %之间,从而使压力传感器的性能达到较佳。 优异的测量不确定度
该系统在表压和绝压模式下覆盖的量程均为0(绝压为0.5 Pa)~15 kPa(2.2 psi)。测量不确定度为读数的±30 ppm与一个非常小的门限误差的组合,足够小以能够校准量程低达130 Pa (1 Torr,0.5 in. H2O)甚至13 Pa (100 mTorr,0.05 in. H2O)的各种微压传递标准。 DHI有一份完整的不确定度分析报告(请参见DHI技术文章 2090TN05)说明FPG8601的测量不确定度。该仪器的稳定度取决于碳化钨活塞组和不锈钢砝码,所以FPG8601的校准间隔与传统的活塞式压力计相同,并没有其它特殊的维护要求。除了卓越的计量性能外,FPG8601还实现了全自动控制;合理的尺寸和重量,在典型的高端计量实验室环境下均可正常工作,没有额外要求。
全自动的力平衡控制
FPG8601压力控制器通过调整限流阀的气流进行工作。限流阀的上游侧被连接到上方的FPG压力室,下游侧被连接到下方的FPG8601的压力室,并连接到大气压,或在绝压工作模式下连接到独立的真空源。
压力控制器原理
控制器中有几个具有不同导电系数的节流阀,并自动选择与相应的压力量程相匹配的一个。有2个质量流量控制器(MFC),其中1个用于压力粗调,另1个用于压力精调,MFC并联用于调整反馈环路中的流量。根据压力设置点和 FPG8601压力测量值之差进行控制。有一个两级的压力调节器,其第二级以节流阀的下游侧为参考,它为质量流量控制器提供了一个稳定的输入压力。FPG8601 包括一个基于Windows的系统控制器。系统控制器与FPG8601硬件及被测设备进行通信。FPG Tools软件监测和控制FPG8601的工作,并支持多种高级功能,包括全自动工作、无值守测试程序并采集被测设备数据。所有的FPG8601和被测设备的数据均被记录为逗号分隔的数据文件,可方便地下载至其它应用程序进行分析。
以下为FPG Tools软件的部分功能:
改变测量模式(表压/绝压)
压力传感器自动调零,并自动设置跨距
调整数据点平均时间
工作状态发生过大变化时自动报警
在低绝压模式下进行热蒸发修正
被测设备设置
测试程序定义和储存
全自动测试
实时绘制测试结果
支持表压、绝压和绝差压测量
FPG8601支持三种不同的测量模式:
表压模式:把FPG8601的下方压力室和测试的“低”侧连接在一起,并和环境大气压相同。
绝压模式:FPG8601的下方压力室被抽成真空,并用真空计测量残留真空。这种模式用于校准密封绝压的DUT。
绝差压模式:把FPG8601的下方压力室和测试的“低”测连接在一起并抽成真空。这种模式用于校准相对于真空的差压被检对象。
此外,FPG8601没有特殊环境要求,可安装在2m长的高质量实验台上。压力控制器常常安装在试验台下方。当需要使用绝压功能时,需要考虑真空泵的位置。如果需要,可以随系统提供定制的安装台。其工作环境要求为典型的高端计量实验室环境。
性能卓越的QRPT传感器
福禄克DHI公司的数字式压力控制器/校准器系列产品提供读数精度,性能堪比活塞压力计。其出众的指标是源于独特的Q-RPT(石英谐振式参考压力传感器)。每个传感器都经过严格的评估并参照基准级的压力标准标定其特性,只有满足必需的线性度,重复性和稳定性指标的传感器才能被使用。福禄克DHI压力计量部通过二十多年来对成千上万只传感器测试的经验和数据的积累,得到了一个拥有专利的补偿模型从而对每个传感器赋予了优化的计量特性。出于用户不同需求和应用的考虑,我们提供不同性能和价格的Q-RPT 压力传感器,适应不同用户的不同应用。
PG7102为基准级活塞压力计,用于介质为气体 5kPa ~ 11MPa表压和105kPa ~ 11MPa绝压的校准工作。通过自动测量值加上PG7102 的内置气压计或如RPM4-AD这样的外部参考大气压力计测得的大气压力,即可支持绝压模式。 PG7102 不支持低于大气压力的绝压或表压模式。若需覆盖接近或低于大气压并/或在1500 kPa 200 psi以下获得较佳准确度的绝压,请使用PG7601。
PG7102气体活塞式压力计具有所有的PG7000 标准特性,并具有更低成本、简化的气体操作平台。始终刷新显示环境压力、温度、湿度和活塞组温度、活塞位置、活塞下降速率、活塞转速下降速率等参数。提供转速“就绪/ 未就绪”指示功能, 实时刷新“质量-压力”计算。活塞旋转可以由电机驱动实现,也可手动实现。
引言
高性能的活塞式压力计的长期稳定度已经使其成为高准确度压力计量领域不可或缺的一种工具。随着准确度水平的提高,质量保证要求的增强以及工作时自动化程度的提高,活塞式压力计必须不断革新以担负起其在压力量值传递体系中的关键角色。
福禄克公司压力计量部(DHI)著名于世的产品和技术就是其先进的活塞式压力计。这些高精度,高性能的活塞式压力计代表着世界高水平的活塞压力计,其用户都是国家级计量实验室,压力产品的著名制造商以及那些国际著名企业和国防单位的计量部门。福禄克的活塞式压力计之所以能够达到如此高的水平,是基于其精湛的制作工艺,不断开发的各种专利技术以及数十年的经验积累。
福禄克的DHI压力计量部在开发新一代活塞式压力计时提出了四点设计目标,包括:
确保支持当今以及未来高准确度的要求;
提供一台现代化的全智能压力校准器,彻底改变压力计量的传统概念;
减小并尽可能消除操作者对测量的影响,提高测量的复现性;
改善活塞式压力计的人机操作界面,使操作更简单,更方便,并提高工作效率。
基准级活塞压力计覆盖完整压力量程
福禄克的活塞式压力计为基准级压力计量器具,其较高准确度优于读数的0.002%(20ppm),是目前世界上活塞式压力计的较高水平。中国、美国、英国、德国、日本等三十多个国家的较高计量技术机构及国防部门的计量单位均采用福禄克的活塞压力计产品作为压力基准装置。
福禄克的活塞式压力计产品覆盖了从绝压下非常低的气压到液体介质高压的完整压力量程,提供从真空到500MPa完整的压力基准装置解决方案,满足直至国家级计量部门的压力计量需要。
尽管覆盖不同的量程和介质可能需要几款活塞压力计平台和特定的附件,但是整个系列中都保持了一致的用户界面和工作原理。在大多数情况下,仅需要两款活塞压力平台,4种活塞套筒模块和两组砝码即可获得完备的气压和油压的校准能力。这样就实现了系统之间的一致性,方便操作和培训。操作者无需学习和操作几款完全不同的系统来覆盖完整的压力范围。通过减少所支持的计量设备的数量来降低维护成本。
独特的模块化活塞设计
除了精密的活塞制造工艺,福禄克在设计活塞的时候,采用了很多的专利和特殊技术,从而保证了其精确性,耐用性,方便性等。其中较重要的技术就是可更换的模块化活塞设计和制造。为了保证活塞和套筒加工的精密性和一致性,它们都是一一对应的,配套成对。传统的活塞压力计更换活塞和套筒时不是很方便,因此通常不同的量程只能使用不同的压力平台。而福禄克的活塞是模块化的,也就是活塞和套筒组合好的。不同的模块可以在一个共同的平台上使用。
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